応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 12p-D15-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測
*土屋 智由, 中野 篤, 平井 義和, 田畑 修, 梅田 章
著者情報
キーワード: 12p-D15-4, シンポジウム, クルマ社会の未来を支えるセンシング技術　　～自動運転システムの展望と課題～, 加速度センサ, MEMS, マトリックス感度
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