アモルファス窒化炭素薄膜の作製Ⅰ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-P8-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2745

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

アモルファス窒化炭素薄膜の作製Ⅰ

*内島一哉, 佐竹聖樹, 中村重之, 財部健一, 福井一俊, 伊藤國雄, 山本伸一

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キーワード: 12p-P8-10, 半導体, 探索的材料物性・基礎物性, その他の新材料，新物性探索，マテリアルデザイン, 窒化炭素, 薄膜, LED

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