応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 11a-A29-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

Auナノチャネルのエレクトロマイグレーションによる質量輸送過程のIn-Situ AFM観察
*八木 麻実子, 齋藤 孝成, 白樫 淳一
著者情報
キーワード: 11a-A29-3, 半導体, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 配線/プロセス/材料/バリア導電膜, エレクトロマイグレーション, 原子間力顕微法, ナノワイヤ
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