応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 11a-A29-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

ナノシリコン弾道電子源を用いたCu薄膜のプリンティング堆積
*須田 隆太郎, 八木 麻実子, 小島 明, Romain Mentek, 白樫 淳一, 越田 信義
著者情報
キーワード: 11a-A29-4, 半導体, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, ナノプロセス, 電子源, 薄膜堆積, 還元
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (417K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2015 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top