Surface potential observation of heavily-doped Si by KPFM

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

The 62nd JSAP Spring Meeting 2015

セッションID: 12a-A23-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2959

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

Surface potential observation of heavily-doped Si by KPFM

*Tyszka Krzysztof, Moraru Daniel, Mizuno Takeshi, Jablonski Ryszard, Tabe Mihicharu

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キーワード: 12a-A23-1, Semiconductor English Session, Kelvin Probe Force Microscope

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© 2015 The Japan Society of Applied Physics

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