Si基板上へのGaN/Ga(N)Asヘテロ構造のMBE成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-D4-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3267

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

Si基板上へのGaN/Ga(N)Asヘテロ構造のMBE成長

*加太俊, 中井裕子, 山崎健平, 田中康弘, 高橋尚志, 橋本光博, 高橋敏男, 秋山英文, 小柴俊

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キーワード: 13p-D4-5, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶, MBE, GaN/GaAs, MBE

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