応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13p-D4-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

MOVPE 法を用いたSi 基板上Ge バッファおよびInGaAs/GaAs MQW層の成長
*中尾 亮, 荒井 昌和, 山本 剛, 松尾 慎治
著者情報
キーワード: 13p-D4-6, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶, MOCVD/MOMBE, 量子井戸, ゲルマニウム
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