プラズマCVDプロセスにおけるa-Si<sub>1-x</sub>C<sub>x</sub>:HのChemical-Orderの発現に関する量子分子動力学計算

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-C2-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3609

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

プラズマCVDプロセスにおけるa-Si_1-xC_x:HのChemical-Orderの発現に関する量子分子動力学計算

*桑原卓哉, 伊藤寿, 樋口祐次, 尾澤伸樹, 久保百司

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キーワード: 12p-C2-8, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, 薄膜系材料：作製・評価, アモルファス炭化珪素, 密度汎関数強結合法, 分子動力学法

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