UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-D1-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3829

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理

*松久健司, 佐久間大樹, 三好佑弥, 水野愛, 篠田宏之, 六倉信喜

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キーワード: 12a-D1-7, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 薄膜成長, ZnO, 酸化物半導体, スパッタリング

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