水熱合成ZnOターゲットを用いたZnO薄膜のヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー(3)：浅い不純物に関する考察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-D1-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3831

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

水熱合成ZnOターゲットを用いたZnO薄膜のヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー(3)：浅い不純物に関する考察

*山崎芳樹, 古澤健太郎, 岩橋咲弥, 小島一信, 秩父重英

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キーワード: 12a-D1-9, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 薄膜成長, 酸化亜鉛, 中性ドナー束縛励起子

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