水素・窒素気流中におけるβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>の熱的安定性の熱力学的検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-D1-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3858

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

水素・窒素気流中におけるβ-Ga₂O₃の熱的安定性の熱力学的検討

*富樫理恵, 野村一城, 江口千尋, 蕗澤孝紘, 後藤健, 村上尚, 熊谷義直, 倉又朗人, 山腰茂伸, 纐纈明伯

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キーワード: 13p-D1-2, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 物性評価, 半導体, 熱力学解析, 熱処理

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