β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>基板の結晶欠陥評価(2)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-D1-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3859

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

β-Ga₂O₃基板の結晶欠陥評価(2)

*永井哲也, 野網健悟, 中居克彦, 二木登史郎

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キーワード: 13p-D1-3, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 物性評価, 酸化ガリウム, 透過型電子顕微鏡

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