酸素ラジカル支援PLD法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-D1-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3863

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

酸素ラジカル支援PLD法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長

*若林諒, 服部真依, 大島孝仁, 佐々木公平, 増井建和, 倉又朗人, 山腰茂伸, 吉松公平, 大友明

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キーワード: 13p-D1-7, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 薄膜成長, 酸化ガリウム, PLD

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