<i>β</i>-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜を用いたMFIS構造の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-D1-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3866

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

β-Ga₂O₃薄膜を用いたMFIS構造の作製

*近藤勇樹, 尾澤秋弘, 野村圭介, 川江健, 森本章治

著者情報

キーワード: 13p-D1-10, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 薄膜成長, Ga2O3, BiFeO3, 半導体

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2015 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top