無限遠補正光学系を用いた共通光路位相シフト干渉顕微鏡

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-P6-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_796

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

無限遠補正光学系を用いた共通光路位相シフト干渉顕微鏡

*佐藤貴則, 冨川望, 陳軍

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キーワード: 13a-P6-3, 光・フォトニクス, 光計測技術・機器, 干渉計測，偏光計測, 位相シフト干渉顕微鏡, ウォラストンプリズム

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