Nd:YAGレーザーの第4次高調波を用いたPLD法によるSrTiO<sub>3</sub>薄膜のホモエピタキシャル成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-PA13-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1310

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

Nd:YAGレーザーの第4次高調波を用いたPLD法によるSrTiO₃薄膜のホモエピタキシャル成長

*横田晃伸, 富士原巧, 中村基訓, 吉本健一, 篁耕司

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キーワード: 14p-PA13-6, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, エレクトロニクス機能探索, PLD, ホモエピタキシャル成長, YAG

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