大気圧SEMにおけるバルク試料観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-4E-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1498

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

大気圧SEMにおけるバルク試料観察

*庄子美南, 大南祐介, 河西晋佐, 中林誠, 伊東祐博

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キーワード: 15p-4E-5, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子顕微鏡装置・手法の開発, 大気圧ＳＥＭ

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