硅弗化アンモニウムの生成と熱脱離を用いたSiNの自己飽和性サイクルエッチング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-2Q-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1663

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

硅弗化アンモニウムの生成と熱脱離を用いたSiNの自己飽和性サイクルエッチング

*篠田和典, 松井都, 前田賢治, 工藤豊, 金清任光, 伊澤勝, 石川健治, 堀勝

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キーワード: 15a-2Q-4, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, 絶縁膜のエッチング, エッチング, 窒化ケイ素

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