赤外光照射によるSiNの高選択サイクルエッチング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-2Q-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1664

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

赤外光照射によるSiNの高選択サイクルエッチング

*三好信哉, 小林浩之, 篠田和典, 前田賢治, 工藤豊, 金清任光, 伊澤勝

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キーワード: 15a-2Q-5, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, 絶縁膜のエッチング, エッチング, 窒化ケイ素

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