CH<sub>4</sub>プラズマによるZnOエッチングに対する水素ダメージ層効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-2Q-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1668

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

CH₄プラズマによるZnOエッチングに対する水素ダメージ層効果

*李虎, 唐橋一浩, 深沢正永, 長畑和典, 辰巳哲也, 浜口智志

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キーワード: 15a-2Q-9, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, 新材料・新構造のエッチング, ZnO, 水素, エッチング

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