応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14p-1C-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

弾道電子の近接照射によるCu薄膜のプリンティング堆積
*須田 隆太郎, 八木 麻実子, 小島 明, 白樫 淳一, 越田 信義
著者情報
キーワード: 14p-1C-7, 半導体, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, ナノプロセス, 電子源, 薄膜堆積, 還元
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