応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14p-1C-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

Ar+イオン照射によるSi ナノワイヤのNi 合金化プロセスの制御
*張 旭, 橋本 修一郎, 武井 康平, ソン セイ, 徐 泰宇, 麻田 修平, 臼田 稔宏, 富田 基裕, 今井 亮佑, 小椋 厚志, 松川 貴, 昌原 明植, 渡邉 孝信
著者情報
キーワード: 14p-1C-8, 半導体, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 配線/プロセス/材料/バリア導電膜, プロセス, ナノワイヤ, シリサイド
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© 2015 公益社団法人 応用物理学会
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