第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 15a-1D-4
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 76
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16
AlGaN成長に向けたRF窒素プラズマによる表面窒化α-(AlGa)2O3の評価
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主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 76
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16
