応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 15a-1A-10
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高温熱処理によるn型SiC厚膜エピタキシャル層のキャリア寿命制御
*齋藤 栄治須田 淳木本 恒暢
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© 2015 公益社団法人 応用物理学会
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