Au/Ni触媒を用いたCVD法による高品質多層グラフェン合成のための水素流量の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16a-PA2-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_3417

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

Au/Ni触媒を用いたCVD法による高品質多層グラフェン合成のための水素流量の検討

*上田悠貴, 山田純平, 内堀樹, 堀部真史, 松田晋一, 丸山隆弘, 成塚重弥

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キーワード: 16a-PA2-13, ナノカーボン, 成長技術, グラフェン, グラフェン, CVD, Au/Ni触媒

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