コンビナトリアルスパッタ法を用いたPMN-PZ-PT薄膜の組成依存性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20a-P1-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1209

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

コンビナトリアルスパッタ法を用いたPMN-PZ-PT薄膜の組成依存性評価

*寺元卓也, 黒川文弥, 辻浦裕一, 肥田博隆, 神野伊策

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キーワード: 20a-P1-3, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電体・高誘電率薄膜, 圧電, 薄膜, コンビナトリアル

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