チタン酸ジルコニウム酸鉛薄膜の強誘電分域のひずみイメージング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20a-P1-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1208

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

チタン酸ジルコニウム酸鉛薄膜の強誘電分域のひずみイメージング

*一番ヶ瀬友哉, 高田啓二

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キーワード: 20a-P1-2, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, プロセス・評価技術, チタン酸ジルコニウム酸鉛薄膜

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