BIT系非鉛圧電材料のスパッタ薄膜形成と特性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20a-P1-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1211

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

BIT系非鉛圧電材料のスパッタ薄膜形成と特性評価

*水嵜英明, 米久保荘, 工藤賢一, 西野入隆, 奥冨衛, 児玉泰史, 水越健輔, 平林明

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キーワード: 20a-P1-5, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電体・高誘電率薄膜, 非鉛圧電薄膜, スパッタ

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