Si/Si間摩擦のその場高分解能電子顕微鏡観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-H113-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1497

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

Si/Si間摩擦のその場高分解能電子顕微鏡観察

*音田光一, 福田めぐみ, 木塚徳志

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キーワード: 19p-H113-4, 薄膜・表面, 表面物理・真空, 摩擦, 摩擦, シリコン, 透過電子顕微鏡法

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