応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22a-W611-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

イオンビームスパッタリングによるNaCl膜の形成
*山野 将史, 針谷 達, 宮本 優, 今井 貴大, 須田 善行, 滝川 浩史, 神谷 雅男, 瀧 真, 長谷川 裕史, 辻 信広, 西内 満美子, 榊 泰直, 近藤 公伯
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キーワード: 22a-W611-4, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, イオンビームスパッタリング
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© 2016 公益社団法人 応用物理学会
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