VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-W611-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1692

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討

*巣山拓, 福井崇史, 瀬高健太, 笹井健典, 豊田浩孝

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キーワード: 22a-W611-3, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, スパッタ

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