応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22a-W611-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の吸収端近傍X線吸収微細構造における高周波電力依存性
*杉浦 啓嗣, 賈 凌雲, 佐藤 俊一, 近藤 博基, 石川 健治, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝
著者情報
キーワード: 22a-W611-6, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, 非晶質カーボン薄膜, NEXAFS, プラズマCVD
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© 2016 公益社団法人 応用物理学会
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