リモート窒素プラズマの照射によるSiCの表面窒化における放電管材料の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-W611-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1696

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

リモート窒素プラズマの照射によるSiCの表面窒化における放電管材料の影響

*嶋林正晴, 栗原一彰, 佐々木浩一

著者情報

キーワード: 22a-W611-7, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, 表面処理・表面改質・表面修飾, SiC, リモート窒素プラズマ

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