誘電体バリア放電を用いた大気圧プラズマ窒化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-W611-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1702

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

誘電体バリア放電を用いた大気圧プラズマ窒化

*津留卓斗, 喜多村圭一, 市來龍大, 赤峰修一, 金澤誠司

著者情報

キーワード: 22a-W611-13, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, 表面処理・表面改質・表面修飾, 窒化処理, 誘電体バリア放電

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2016 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top