H<sub>2</sub>/ArプラズマによるITOエッチングに対する水素変質層の効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-W621-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1709

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

H₂/ArプラズマによるITOエッチングに対する水素変質層の効果

*平田瑛子, 深沢正永, 重歳卓志, 岡本正喜, 長畑和典, 李虎, 浜口智志, 辰巳哲也

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キーワード: 19p-W621-6, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, 新材料・新構造のエッチング, プラズマエッチング, 透明導電膜

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