スパッタリング併用有機金属気相堆積法と希土類添加ZnOへの応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-S222-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_231

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

スパッタリング併用有機金属気相堆積法と希土類添加ZnOへの応用

*藤原康文

著者情報

キーワード: 21p-S222-2, シンポジウム, 金属酸化物薄膜の成膜装置, スパッタリング併用有機金属気相堆積法, 希土類添加半導体, 酸化亜鉛

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2016 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top