アルゴン雰囲気中での加熱によるta-C薄膜損傷のラマン分光観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21a-P1-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_273

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

アルゴン雰囲気中での加熱によるta-C薄膜損傷のラマン分光観察

*神津知己, 山口誠, 川口雅弘

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キーワード: 21a-P1-3, 応用物理学一般, 応用物理一般・学際領域, トライボロジー, ダイヤモンド状炭素, ラマン分光, 深紫外光

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