The 63rd JSAP Spring Meeting 2016
セッションID: 20p-P12-29
会議情報
主催: The Japan Society of Applied Physics
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 63
開催地: 東京工業大学
開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22
Low temperature solution-processed lead-zirconium-titanate thin film actuator for highly integrated biochip
*TUE TRONG PHAN, Reijiro Shimura, Yuki Tagashira, Yoshiaki Ukita, Keisuke Satou, Kazuhiro Fukada, Tatsuya Shimoda, Yuzuru Takamura
著者情報
キーワード:
20p-P12-29,
bio-MEMS，μ-TAS,
piezoelectric actuator,
PZT film,
Low temperature solution processing
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