人工知能融合超高速量子分子動力学法の開発と半導体プロセスへの応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-S423-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_2946

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

人工知能融合超高速量子分子動力学法の開発と半導体プロセスへの応用

*稲葉賢二, 佐藤絵美, 佐藤愛美, 小原幸子, 石澤由紀江, 宮野正之, 三浦隆治, ボノーパトリック, 鈴木愛, 宮本直人, 畠山望, 張山昌論, 宮本明

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キーワード: 19p-S423-17, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, ナノプロセス, 量子分子動力学法, 第一原理計算, 人工知能

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