応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 20p-P9-1
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

表面リセス型電極構造を用いたAlGaN系PIN型UVフォトダイオードの作製および特性評価
*岡田 真由子, 宮地 祐太, 三好 実人, 江川 孝志
著者情報
キーワード: 20p-P9-1, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 半導体, フォトダイオード
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