応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 21a-W541-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

自立基板の劈開面に形成したn-GaNショットキー接触の評価 (2) －－表面処理の影響－－
*永縄 萌, 青木 俊親, 三島 友義, 塩島 謙次
著者情報
キーワード: 21a-W541-2, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, n-GaN ショットキー接触, 表面処理, 劈開面
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