応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 21a-W541-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

GaN基板上低キャリア厚膜n-GaNショットキー接触のDLTS評価
*塩島 謙次, 田中 丈士, 三島 友義, 徳田 豊
著者情報
キーワード: 21a-W541-9, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, GaN, DLTS, ショットキー接触
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