応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22p-W541-1
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

原子拡散接合で作製されたPIN-ダイオードの電気特性
*山田 友輝, 魚本 幸, 島津 武仁, 名田 允洋, 松崎 秀昭
著者情報
キーワード: 22p-W541-1, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, III-V族半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, ウエハ接合, ダイオード, 電気特性
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