金属元素ドープLiTaO<sub>3</sub>基板の表面弾性波特性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-H112-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3316

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

金属元素ドープLiTaO₃基板の表面弾性波特性評価

*杉山正史, 寺島彰, 梶ヶ谷富男, 飯田潤二, 宇田聡, 橋本研也

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キーワード: 19p-H112-7, 結晶工学, バルク結晶成長, 基板材料, LiTaO3, 金属元素ドープ, SAW速度

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