応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19p-H121-16
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

バルクGaN表面のナノインデンテーションにおけるr面すべりのHRTEM観察と歪解析
*横川 俊哉, 二木 佐知, 前川 順子, 青木 正彦
著者情報
キーワード: 19p-H121-16, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, ナノ構造, 窒化物半導体, ナノインデンテーション, 転位
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