アニール処理AlN下地層上AlGaN/AlN-MQWの光学特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-H121-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3467

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

アニール処理AlN下地層上AlGaN/AlN-MQWの光学特性

*袴田淳哉, 草深敏匡, 千賀崇史, 岩谷素顕, 竹内哲也, 上山智, 三宅秀人, 赤崎勇

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キーワード: 21p-H121-14, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光物性（AlGaN, AlInN）, AlN

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