応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 21p-H121-13
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

AlGaN成長用表面窒化α-(AlGa)2O3基板の極微構造評価と熱的安定性評価
*武馬 輝, 増田 直, 荒木 努, 名西 憓之, 織田 真也, 人羅 俊実
著者情報
キーワード: 21p-H121-13, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光物性（AlGaN, AlInN）, 酸化アルミニウムガリウム, 窒化処理, 透過電子顕微鏡
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (421K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2016 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top