AlN成長のための空気中アニールによるc面サファイアの原子ステップ形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-H121-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3474

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

AlN成長のための空気中アニールによるc面サファイアの原子ステップ形成

*玉置真哉, 鈴木周平, 三宅秀人, 平松和政

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キーワード: 22a-H121-4, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 窒化アルミニウム, サファイア基板

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