WC電極とW<sub>2</sub>C電極によるSiCショットキーダイオードの電気特性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21a-H101-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3579

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

WC電極とW₂C電極によるSiCショットキーダイオードの電気特性評価

*鈴木智之, 若林整, 筒井一生, 岩井洋, 角嶋邦之

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キーワード: 21a-H101-10, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 電極, シリコンカーバイド, タングステンカーバイド, ショットキーダイオード

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