界面顕微光応答法によるNi/p-3C-SiCショットキー接触の2次元評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21a-H101-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3580

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

界面顕微光応答法によるNi/p-3C-SiCショットキー接触の2次元評価

*新郷正人, 市川尚澄, 加藤正史, 塩島謙次

著者情報

キーワード: 21a-H101-11, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 電極, 界面顕微光応答法, 3C-SiC, ショットキー接触

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